湿度控制是无尘车间生产需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%RH的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%RH的范围内。

近年来，由于对工艺要求的越来越高，人们对无尘车间的要求也越来越高。无尘车间是一个比较特殊的场所，又叫做洁净厂房、洁净室(Hlean Room）、无尘室。其中，跟我们除湿机行业密切相关的就是空气的湿度了。因为空气的湿度对会无尘车间室内有一些影响：

1、无尘车间里的一些物品在湿度大的环境里，往往会吸收水分，从而变形变质。因此，继续除湿机来确保空气里的湿度保持在一个合理的标准。

2、无尘车间里一定会有金属物品，湿度过于大太潮湿，金属会受潮，会被腐蚀！

3、前面两点是空气的湿度过于大会引起的问题，同样的空气的湿度过于小，就是空气太干燥也是不行的。如果无尘车间里的空气太干燥，是容易引起静电的。

4、既然是车间，定有工人在操作。科学研究表明了，我们人体在空气湿度在40%—60%RH之间是比较舒适的。空气湿度过于高，人的皮肤可能会过敏湿疹，会无精打采，萎靡不振；空气过于干燥，会诱发各种呼吸系统的疾病。

5、无尘车间并非无菌车间，在无尘车间里要保持好一个好的空气湿度。经过研究表明，细菌和其他生物污染在相对湿度过60%RH的环境中可以活跃地繁殖，一些菌群在相对湿度过30%RH时就可以增长，可见控制湿度的重要性。

随着车间对空气质量指标的高要求，无尘车间安装管道除湿机或者是恒温恒湿机等设备是势在行的。其中除湿机的原理是用蒸发器在降温的同时，又可以回收系统的热量来弥补散失的热量，既能源合理利用又节能，如今越来越多地应用。

那么洁净厂房、洁净室、无尘室常见的除湿设备有哪些呢？

1、立柜式除湿机

2、管道&吊顶式除湿机

3、恒温恒湿机